イヤフォン向けの「シリコンスピーカー」、MEMSドライバー

イヤフォン向けの新しいドライバーが下記に紹介されています。いわゆる「ヒアラブル」というウェアラブルのイヤフォン版の流れです。
https://techxplore.com/news/2019-10-in-ear-silicon-speakers-internet-voice.html

これはMEMSという「シリコンスピーカー」で従来の振動板ではなく、無数のNEDアクチュエーターという薄膜が電圧に応じて動くことで空気を振動させ音を出すようです。薄膜というか静電アクチュエーターという帯電の異なるもの同士の力を使って動くもののようです。記事中の動画を見るとわかりやすいと思います。電圧で動くので普通にイヤフォンに使えそうですね。効率が高いのが特徴で、実験的には音は出せてるそう。
MEMSってリボン型をシリコンでやってるように思いますが、参照リンクをクリックしたらネイチャーに飛んだので読むのやめました　笑